乾式渦旋泵

乾式渦旋泵,簡稱乾泵,又稱渦旋式乾泵、乾式真空泵,能在大氣壓到10-2Pa的壓力範圍內工作,在泵的抽氣流道(如泵腔)中,不能使用任何油類和液體、排氣口與大氣...