基本介紹
- 中文名：三氯矽烷
- 英文名： trichlorosilane；Silicochloroform
- 熔點：-134℃
- 沸點：31.8℃
基本信息,物化性質,安全信息,生產方法,用途,對環境的影響,健康危害,毒理學資料及環境行為,實驗室監測方法,環境標準,應急處理處置方法,泄漏應急處理,防護措施,急救措施,
基本信息
中文名稱：三氯氫矽
中文別名：三氯矽烷
英文名稱：Trichlorosilane
英文別名：trichlorosilyl hydride;Silicochloroform;siliciumchloroform;trichlorsilan;triclorosilano;
CAS號：10025-78-2
分子式：HCl3Si
分子量：135.45200
精確質量：133.89100
LogP：1.42000
物化性質
外觀與性狀：液體
密度：1.342g/mLat 25°C(lit.)
熔點：-127 °C
沸點：32-34°C(lit.)
閃點：7°F
折射率：1.4-1.402
水溶解性：decomposes
穩定性：Stable, but extremely flammable. Pyrophoric - spontaneously ignites in air. Explosion hazard in air - note wide explosion limits. Reacts violently with water. Incompatible with moisture, acids, bases, strong oxidizing agents, alcohols, amines.
儲存條件：庫房通風低溫乾燥,與氧化劑、酸類分開存放
蒸汽壓：9.75 psi ( 20 °C)
蒸汽密度：1 (vs air)
安全信息
符號：GHS02GHS05GHS07
信號詞：危險
危害聲明：H224; H250; H302 + H332; H314
附加危害聲明：與水接觸釋放出有毒氣體，遇水反應劇烈。
警示性聲明：P210; P280; P303 + P361 + P353; P305 + P351 + P338; P370 + P378; P422
包裝等級：I
危險類別：4.3
危險品運輸編碼：UN 1295 4.3/PG 1
WGK Germany：1
危險類別碼：R12; R14; R17; R20/22; R29; R35
安全說明：S16-S26-S36/37/39-S43-S45-S7/9-S43A
RTECS號：VV5950000
危險品標誌：F+; C
生產方法
1.沸騰氯化法 矽粉經乾燥後加入氯化沸騰爐，與通人爐中的乾燥氯化氫氣體在340℃進行反應。生成的粗三氯氫矽經濕法除塵器、列管冷凝器去蒸餾塔分離四氯化矽，由蒸餾塔出來的三氯氫矽氣體經冷凝，製得三氯氫矽成品。
2.將矽(97%)填充到石英反應管中，邊通入乾燥氯化氫，邊反應。接受器用冷凍劑冷卻。往氯化鈉中加入濃硫酸產生氯化氫。反應前，將爐加熱，通入乾燥氫氣使系統乾燥，接著加熱到300℃，送入氯化氫使其反應。蒸餾反應產物，首先蒸出的是溶解的氯化氫，接著蒸出產物。殘餘組分為四氯化矽。如有必要，可再次蒸餾進行提純。
用途
用於有機矽烷和烷基、芳基以及有機官能團氯矽烷的合成，是有機矽烷偶聯劑中最基本的單體，也是生產半導體矽、單晶矽的原料，隨著有機矽烷偶聯劑工業的發展而出現供不應求，生產量越來越大。
對環境的影響
健康危害
侵入途徑：吸入、食入。
健康危害：對眼和呼吸道黏膜有強烈刺激作用。高濃度下，引起角膜混濁、呼吸道炎症，甚至肺水腫。並可伴有頭昏、頭痛、乏力、噁心、嘔吐、心慌等症狀。沾在皮膚上，可引起壞死，潰瘍長期不愈。
毒理學資料及環境行為
急性毒性：LD501030mg/kg (大鼠經口)；LC501500mg/m3，2小時(小鼠吸入)
刺激性：家兔經眼：5mg/m3，引起刺激。對皮膚、黏膜有強烈的刺激和腐蝕作用。
亞急性和慢性毒性：可見卡他性氣管炎、支氣管炎及時期肺硬化表現。
危險特性：遇明火強烈燃燒。受高熱分解產生有毒的氯化物氣體。與氧化劑發生反應，有燃燒危險。極易揮發，在空氣中發煙，遇水或水蒸氣能產生熱和有毒的腐蝕性煙霧。
燃燒(分解)產物：氯化氫、氧化矽。
實驗室監測方法
用色譜-質譜鑑別和[氣相]色譜法測定三氯矽烷和四氯化矽中的含碳雜質[刊,俄]/Glavin G.G.；Srepanov A.I.,Kvin V.E.…//Сб.науч.тр.Н-и.и лроект. ин-т. редкомет.лром-сти.Гиредмет.-1986,135.-59～64
環境標準
中國 車間衛生標準 3mg/m3
應急處理處置方法
泄漏應急處理
迅速撤離泄漏污染區人員至安全區，並進行隔離，嚴格限制出入。切斷火源。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿消防防護服。從上風處進入現場。儘可能切斷泄漏源，防止進入下水道、排洪溝等限制性空間。小量泄漏：用砂土或其它不燃材料吸附或吸收。大量泄漏：構築圍堤或挖坑收容；用泡沫覆蓋，降低蒸氣災害。在專家指導下清除。
防護措施
呼吸系統防護：空氣中濃度超標時，應該佩戴自吸過濾式防毒面具(全面罩)。緊急事態搶救或撤離時，建議佩戴自給式呼吸器。
眼睛防護：呼吸系統防護中已作防護。
身體防護：穿膠布防毒衣。
手防護：戴橡膠手套。
其它：工作現場禁止吸菸、進食和飲水。工作畢，淋浴更衣。保持良好的衛生習慣。
急救措施
皮膚接觸：立即脫去被污染的衣著，用大量流動清水沖洗，至少15分鐘。就醫。
眼睛接觸：立即提起眼瞼，用大量流動清水或生理鹽水徹底沖洗至少15分鐘。就醫。
吸入：迅速脫離現場至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢。如呼吸困難，給輸氧。如呼吸停止，立即進行人工呼吸。就醫。
食入：誤服者用水漱口，給飲牛奶或蛋清。就醫。
滅火方法：消防人員必須佩戴過濾式防毒面具(全面罩)或隔離式呼吸器、穿全身防火防毒服，在上風處滅火。滅火劑：乾粉、乾砂。切忌使用水、泡沫、二氧化碳、酸鹼滅火劑。
