ruleS-based SRAF

ruleS-based SRAF是一種在OPC數據處理時基於經驗來確定輔助圖形的尺寸和放置的位置的輔助圖形。

基本介紹

• 外文名：ruleS-based SRAF
• 所屬學科：積體電路

定義

基於經驗來確定輔助圖形的尺寸和放置的位置（placement rules），這種輔助圖形加入的方法稱為基於經驗的輔助圖形，即ruleS-based SRAF。

原理

在90nm節點時，通過建立一些圖形插入規則來實現OPC數據處理時吧輔助圖形加入到原版圖中。規則確定了輔助線條的寬度，在周期等於多少時插入第一個輔助線條，周期多少時插入第二個輔助線條，等等。輔助圖形的尺寸和放置的位置（placement rules）是通過實驗來確定的。使用一塊特殊設計的測試掩模，該掩模上有各種尺寸的輔助圖形。曝光後，對這些圖形測量，確定最佳的放置位置和寬度。實驗確定的規則還需要由模型計算來進一步驗證。

特點介紹

輔助圖形添加的規則是和工藝條件密不可分的。如果工藝參數變了，這些規則就要重新產生並驗證。

套用

OPC數據處理時套用。