X射線感光樹脂

X射線感光樹脂指對X射線 敏感的感光樹脂，由於X射線的能量比紫外和可見光高許 多，往往不需要光敏化劑，可以直接使聚合物鏈發生斷裂，引 起聚合物的交聯或降解，但是X射線光刻工藝對設備要求 高，結構複雜而昂貴，因此只在特殊場合下使用。

根據光化學 反應的類型這類樹脂也有正負之分。適用於x射線光刻工 藝的感光樹脂目前使用較多，綜合性能較好的多為聚丙烯酸 醋和聚甲基丙烯酸酚類均聚物或者共聚物。由於x射線的 波長更短，光繞射現象得以抑制，因此解析度更好，這類光刻 膠多用於大規模積體電路的製備。