超低溫製冷劑R14。R-14製冷劑，別名R14、氟利昂14、PFC-14，商品名稱有Freon 14等，中文名稱四氟化碳、全氟化碳，英文名稱Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane，分子式CF4。R-14屬於fc類物質——對臭氧層沒有破壞、但存在溫室效應；目前對於R14製冷劑的生產、銷售以及在新製冷設備上的初裝、售後設備上的再添加均沒有限制。
基本介紹
- 中文名：四氟化碳、全氟化碳
- 外文名：Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane
- 全名：超低溫製冷劑R14
- 分子式：CF4
主要用途:,理化性質:,包裝運輸:,質量標準:,
主要用途:
R-14作為一款特種超低溫製冷劑，主要套用於要求溫度非常低的深冷設備中（包括科研製冷、醫用製冷等），R14同時也是超低溫配合冷媒的重要組分。
r14 鋼瓶
r14 鋼瓶四氟化碳（四氟甲烷）是目前微電子工業中用量最大的等離子蝕刻氣體，其高純氣及四氟甲烷高純氣配高純氧氣的混合氣，可廣泛套用於矽、二氧化矽、氮化矽、磷矽玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產、雷射技術、氣相絕緣、泄漏檢驗劑、印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。
理化性質:
（Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane ），亦稱四氟化碳、全氟化碳，PFC-14（R-14）。分子式：CF4。
相對分子量：88.00。
在常溫下，四氟甲烷是無色、無臭、不燃，不溶於水的可壓縮性氣體。
沸點：-128℃，熔點：-183.6℃。
液體密度（-130℃）1.613g/cm3，臨界溫度-45.67℃，臨界壓力3.74Mpa，蒸氣壓（-150.7℃）13.33kPa，介電常數（25℃，0.5Mpa）1.0006。揮發性較高，是最穩定的有機化合物之一，在900攝氏度時，不與鋼、鎳、鎢、鉬反應，僅在碳弧溫度下緩慢分解，微溶於水，在25攝氏度及0.1Mpa下其溶解度為0.0015%（重量比），然而與可燃性氣體燃燒時， 會分解產生有毒氟化物，危險性類別為第2.2類不燃氣體。
包裝運輸:
四氟甲烷對金屬、合金不腐蝕，可用無縫鋼瓶和鋁合金容器裝運，充瓶壓力通常低於12.5Mpa，按壓縮氣體運輸，鋼瓶每五年檢驗一次，國外規定可用汽車、火車、輪船和飛機運輸，國內目前無規定。鋼瓶包裝（14MPa）（DOT-3AAGB-5099)，閥門（CGA-580/590,QF-2），32kg/48.8L，30kg/43.3L ，5kg/8L，2.5kg/4L。
質量標準:
產品質量標準（QUALITY STANDARD FOR CF4）
指標名稱 | 高純級 | 優級品 | 一級品 |
含量，%（v/v） ≥ | 99.99 | 99.9 | 99 |
氮氣，%（v/v） ≤ | 0.002 | 0.03 | 0.3 |
氧氣，%（v/v） ≤ | 0.0005 | 0.01 | 0.1 |
水份，ppm ≤ | 5 | 5 | 10 |
二氧化碳，ppm ≤ | 5 | 10 | 800 |
氟化碳，ppm ≤ | 15 | 20 | - |
酸度，（HF）ppm ≤ | 0.1 | 1 | - |
六氟化硫，ppm ≤ | - | - | 600 |
