Pt靶

Pt靶是一種用於動力與電氣工程領域的工藝試驗儀器，於2012年9月11日啟用。

基本介紹

• 中文名：Pt靶
• 產地：中國
• 學科領域：動力與電氣工程
• 啟用日期：2012年9月11日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 加工工藝實驗設備

技術指標

Pt-靶, 99.99%, 148.6 mm 直徑 x 5 mm 厚度, 綁定在銅背板上，適用於SC153 DC/RF。

主要功能

作為半導體加工的電極材料及壓阻材料使用。