高速快取檔案系統 (cache file system, CacheFS) 是一種普通的非易失性高速快取機制。CacheFS 利用小而快速的本地磁碟提高了某些檔案系統的性能。例如，可以使用 CacheFS 改進NFS環境的性能。
CacheFS是一種普通的非易失性高速快取機制。針對NFS和AFS這種網路檔案系統而言，因為受網路的影響，使得對數據訪問和存儲的實時性就有了一定的挑戰，特別是在早期100Mb/s的網路環境下。為了解決回響實效的問題，一種被稱為CacheFS的本地快取方案被開發出來，用來提供分散式檔案系統的本地快取。
作為Linux核心2.6.30的一部分，CacheFS開始對NFS、AFS以及其它一些檔案系統進行支持。CacheFS作為FS-cache的快取後端，進行實際的數據存儲和檢索處理，並使用塊設備的分區。但是，CacheFS並不能用在任何檔案系統上，檔案系統必須能被FS-Cache寫入。
在使用CacheFS改進NFS環境性能的時候，CacheFS 在不同版本的 NFS 上的工作方式不同。例如，如果客戶機和後台檔案系統運行的是 NFS 版本 2 或版本 3，則檔案將在前台檔案系統中進行高速快取以便客戶機訪問。但是，如果客戶機和伺服器運行的都是 NFS 版本 4，則其功能如下：當客戶機最初請求訪問 CacheFS 檔案系統的檔案時，請求將繞過前台的（即高速快取的）檔案系統，並直接訪問後台檔案系統。使用 NFS 版本 4 後，檔案將不再在前台檔案系統中進行高速快取。後台檔案系統將提供所有檔案訪問權。另外，由於前台檔案系統中沒有高速快取任何檔案，因此特定於 CacheFS 的掛載選項（這些選項旨在影響前台檔案系統）會被忽略。特定於 CacheFS 的掛載選項不適用於後台檔案系統。
