龔學鵬

龔學鵬，男，中國科學院長春光學精密機械與物理研究所 研究員，博士生導師。

基本介紹

• 中文名：龔學鵬
• 國籍：中國
• 畢業院校：吉林大學
• 學位/學歷：博士

人物經歷

教育背景

2007-09--2010-06 吉林大學 博士

2005-09--2007-07 吉林大學 碩士

2001-09--2005-07 吉林大學 學士

工作經歷

2018-09~現在, 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所, 研究員

2012-09~2018-09,中國科學院長春光學精密機械與物理研究所, 副研究員

2010-07~2012-09,中國科學院長春光學精密機械與物理研究所, 助理研究員

2007-09~2010-06,吉林大學, 博士

2005-09~2007-07,吉林大學, 碩士

2001-09~2005-07,吉林大學, 學士

科研成果

專利成果

（ 1 ） X射線真空設備中冷卻循環系統用低真空保護與監測裝置, 2021, 第 1 作者, 專利號: ZL201911363062.8

（ 2 ） X射線波長掃描光學元件極限運動位置探測和保護裝置, 2021, 第 1 作者, 專利號: ZL201911362225.0

（ 3 ） 一種X射線波段光學元件高精度面形控制裝置, 2017, 第 1 作者, 專利號: 201510316760.8

（ 4 ） EUV多層膜碳污染實驗裝置, 2017, 第 1 作者, 專利號: 201510213471.5

（ 5 ） 具有降低光學元件熱變形和高傳輸效率的碎屑抑制系統, 2017, 第 1 作者, 專利號: 201510289240.2

（ 6 ） 一種EUV反射鏡清洗裝置, 2017, 第 3 作者, 專利號: CN201510229051.6

（ 7 ） 一種用於碳污染實驗獲取EUV輻射的真空隔離濾光裝置, 2016, 第 1 作者, 專利號: CN201510190428.1

（ 8 ） 超高真空試驗腔中光路精密調節及轉換裝置, 2016, 第 3 作者, 專利號: CN201410311668.8

（ 9 ） 振動控制方法, 2022, 第 1 作者, 專利號: CN114185263.A

（ 10 ） 振動控制裝置及其控制方法, 2022, 第 1 作者, 專利號: CN114035626A

出版信息

發表論文

（1） Improvement of the performance of a cryo-cooled monochromator at SSRF. Part II: Angular stability of the exit beam, Nuclear Inst. and Methods in Physics Research, A, 2021, 第 2 作者

（2） Improvement of the performance of a cryo-cooled monochromator at SSRF. Part I: Double-crystal parallelism, Nuclear Inst. and Methods in Physics Research, A, 2021, 第 2 作者

（3） Enhanced removal of X-ray-induced carbon contamination using radio-frequency Ar/H2 plasma, NUCL SCI TECH, 2019, 第 4 作者

（4） Robust design of broadband EUV multilayer using multi-objective evolutionary algorithm, optics communications, 2018, 第 2 作者

（5） Mechanical design and finite element analyses of surface bending mechanism for X-ray optics, Precision Engineering- Journal of the International Societies for Precision Engineering, 2018, 第 1 作者

（6） 軟X射線光發射電子顯微鏡光束線聚焦用KB鏡系統, 光學精密工程, 2017, 通訊作者

（7） Mechanical design and performance evaluation of KB mirror system for the ARPES beamline at SSRF, Precision Engineering- Journal of the International Societies for Precision Engineering, 2016, 第 1 作者

（8） Mechanical design and performance evaluation for plane grating monochromator in a soft X-ray microscopy beamline at SSRF, Journal of X-Ray Science and Technology, 2015, 第 1 作者

（9） X射線干涉光刻光束線關鍵光學元件熱-結構耦合分析, 儀器儀表學報, 2015, 第 1 作者

（10） Structure Design and Numerical Simulation of a High Performance Slit in Soft X-Ray Interference Lithography Beamline at SSRF, Advances in Mechanical Engineering, 2014, 第 1 作者

（11） X射線干涉光刻光束線偏轉鏡系統的設計與測試, 光學精密工程, 2014, 第 1 作者

（12） Application of adaptive filtering algorithm to the stability problem for double crystal monochromator. Part I: Typical filtering algorithms, NUCLEAR INST. AND METHODS IN PHYSICS RESEARCH, A, 2023, 通訊作者

（13） Research on efficient and stable control of EUV-induced hydrogen plasma, Journal of Applied Physics, 2022, 通訊作者

（14） Study on the characteristics of atomic hydrogen cleaning carbon contamination on multilayers, VACUUM, 2022, 通訊作者

（15） A new active vibration control method of double crystal monochromator based on FuLMS-ADRC hybrid algorithm, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment, 2022, 通訊作者

科研項目

（ 1 ） 極紫外多層膜表面碳沉積的機理、檢測方法及去除策略研究, 主持, 國家級, 2015-01--2017-12

（ 2 ） 雷射位移感測器產業化技術研究, 主持, 省級, 2015-01--2017-12

（ 3 ） 短波段光學元件碳污染原位清洗與檢測技術研究, 主持, 國家級, 2015-07--2018-07

（ 4 ） EUV多層膜光學元件壽命實驗研究平台, 參與, 國家級, 2012-01--2020-12

（ 5 ） 軟X射線共振發射(RXES)譜儀機械系統, 參與, 研究所（學校）, 2016-12--2017-12

（ 6 ） 同步輻射雙偏轉鏡和聚焦鏡系統, 主持, 研究所（學校）, 2017-12--2021-12

（ 7 ） 軟X射線光柵單色器, 參與, 研究所（學校）, 2017-11--2021-12

（ 8 ） 基於X射線誘發激進粒子反應機制的短波增反膜表面碳沉積原位、高效、無損清洗方法的研究, 主持, 國家級, 2020-01--2023-12

（ 9 ） 旭光人才計畫項目, 主持, 市地級, 2020-08--2023-12

（10） 光柵單色器, 負責人, 其他國際合作項目, 2021-12--2022-12

（11） E-line發射譜儀收集鏡調節機構，負責人，2022-11--2023-09

參與會議

（1）長春光機所光束線關鍵設備的研製 先進光源光束線技術研討會 2021-01-27

（2）EUV光學元件壽命 深圳中能高重複頻率X射線自由電子雷射極紫外光刻實驗站用戶研討會 2020-12-12（3）光束線關鍵設備設計與製造 第三屆特種光電功能材料與器件套用會議 2021-10-16