高純氣體系統用針形閥(Usedin High Purity Gas System Needle Valve)氣體工業名詞，是用來細調高純氣體流量的閥門，通常要求採用不鏽鋼材質，內漏及外漏速率均有嚴格要求，材質與氣體接觸的表面要經過特殊處理，以確保氣體通過時無粒子脫落且不吸附氣體。
基本介紹
- 中文名：高純氣體系統用針形閥
- 外文名：Usedin High Purity Gas System Needle Valve
- 適用溫度：-60～232℃
- 工作壓力：35MPa
高純氣體系統用針形閥(Usedin High Purity Gas System Needle Valve)
氣體工業名詞，是用來細調高純氣體流量的閥門，通常要求採用不鏽鋼材質，內漏及外漏速率均有嚴格要求，材質與氣體接觸的表面要經過特殊處理，以確保氣體通過時無粒子脫落且不吸附氣體；它具有針形的閥瓣和閥座。其調節精度主要取決於通徑和閥針錐度的大小。國外已實現氣體1mLh的精確控制。工作壓力可高達35MPa，適用溫度-60～232℃。
