特性熔點一29}。沸點l fif) C: 密度1. 3248/cm3。在75℃時蒸氣壓l f1kPa ,純度李99.999%二又用精密減壓精餾和配位體置換技術提純製備。自燃對空氣、水十分敏感。貯存在室溫下穩定在5UU~ 7ULl}.條件下容易分解』用乾生長u}一v族半導體器件和作矽器件中的摻雜源。