高壓探針台是一種用於信息科學與系統科學領域的工藝試驗儀器，於2013年12月04日啟用。
基本介紹
- 中文名：高壓探針台
- 產地：美國
- 學科領域：信息科學與系統科學
- 啟用日期：2013年12月04日
- 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備
技術指標,主要功能,
技術指標
該設備是市面上唯一一家高壓探針台，能提供10000V/ 100A測試規格，同時達到fA級別低漏電，並提供主動式安全防護（通過CE、UL、TUV等歐美安規認證），是在提供高性能測試規格同時，唯一兼顧使用者安全的探針台。
主要功能
其的主要功能指標為：**1、*兼容從8英寸矽片至單晶片器件的量測。**2、*配置Cascade專利之微暗箱（Microchamber），可實現超低漏電流量測：常溫常壓條件下晶片載台漏電流小於50fA，高溫（300度）高壓（1100V或3000V）條件下漏電流小於5pA。**3、*晶片載台和探針及電纜均採用特殊金屬材料製造，可支持超高功率器件的量測：**4、*三軸模式下最高支持3000V電壓量測，兩軸模式下最高支持10000V電壓量測。**5、*支持最高脈衝電流60A，持續電流10A量測。**6、*支持20。
