《電漿技術及套用》是2009年國防工業出版社出版的圖書，作者是趙青。
基本介紹
內容簡介,圖書目錄,
內容簡介
本書比較系統、全面地介紹了電漿技術原理及其套用。全書共分l3章．包括電漿基本性質、各種電漿技術的裝置、原理及套用的最新發展、電漿診斷的原理及方法。電漿套用中主要介紹電漿表面處理，電漿在高功率微波方面的套用，電漿隱身，微波等離子燈等最新研究成果和套用實例。電漿診斷主要介紹電漿套用中常用的診斷原理、方法及套用。
本書可作高等院校電漿、物理電子、真空技術、凝聚態物理及核技術套用等專業研究生和高年級學生的教材，也可供從事電漿技術、微細加工技術、氣體放電、高功率微波等學科領域的科研人員、工程技術人員參考。
圖書目錄
第1章 概論
1.1 電漿概念
1.2 電漿的各種性質
1.3 電漿的分類
1.3.1 按存在分類
1.3.2 按電離度分類
1.3.3 按粒子密度分類
1.3.4 按熱力學平衡分類
1.4 電漿的套用
1.5 研究電漿的方法
第2章 電漿物理基礎
2.1 電漿中的粒子
2.2 電漿間的碰撞
2.2.1 粒子間的相互作用
2.2.2 彈性碰撞和非彈性碰撞
2.2.3 碰撞截面
2.2.4 碰撞頻率和平均自由程
2.2.5 庫侖碰撞
2.2.6 氣體原子(分子)的激發、離解和電離
2.3 電漿特徵量
2.3.1 粒子密度和電離度
2.3.2 電漿溫度
2.3.3 電漿的時空特徵量
2.3.4 沙哈（SAHA）方程
2.3.5 電漿判據
2.3.6 電漿的電導率
2.4電漿的微觀描述
2.4.1 電漿的準電中性
2.4.2 電漿擴散
2.4.3 電漿振盪
2.4.4 電漿鞘層
2.4.5 電漿輻射
第3章 電漿中的波
3.1 波動的一般概念
3.1.1 相速度群速度
3.1.2 色散關係
3.1.3 介電張量
3.2 冷電漿中的電磁波
3.3 熱電漿中的波
3.4 電磁波在電漿中的傳播
3.4.1 電磁波在非磁化電漿中的傳播
3.4.2 電磁波在磁化電漿中的傳播
第4章 電漿的形成理論
4.1 氣體放電特性與原理
4.2 湯森放電
4.3 帕邢定律
4.4 羅果夫斯基理論
4.5 湯森理論的局限性
4.6 氣體放電的相似定理
第5章 直流放電電漿的生成方法
5.1 直流放電方法
5.2 電暈放電電漿技術
5.2.1 電暈放電機理分析
5.2.2 電暈放電產生的閾值判據
5.2.3 電暈放電套用
5.3 直流輝光放電
5.3.1 放電區的結構和分布
5.3.2 輝光放電的陰極區
5.3.3 輝光放電的正柱區
5.3.4 各種氣壓條件下的輝光放電
5.4 電弧放電電漿技術
……
第6章 交流放電電漿的生成方法
第7章 電漿填充高功率微波器件
第8章 電漿隱身技術
第9章 電漿對材料的表面改性
第10章 微波等離子燈
第11章 微波診斷技術
第12章 光譜診斷技術
第13章 朗繆爾探針診斷技術
參考文獻
1.1 電漿概念
1.2 電漿的各種性質
1.3 電漿的分類
1.3.1 按存在分類
1.3.2 按電離度分類
1.3.3 按粒子密度分類
1.3.4 按熱力學平衡分類
1.4 電漿的套用
1.5 研究電漿的方法
第2章 電漿物理基礎
2.1 電漿中的粒子
2.2 電漿間的碰撞
2.2.1 粒子間的相互作用
2.2.2 彈性碰撞和非彈性碰撞
2.2.3 碰撞截面
2.2.4 碰撞頻率和平均自由程
2.2.5 庫侖碰撞
2.2.6 氣體原子(分子)的激發、離解和電離
2.3 電漿特徵量
2.3.1 粒子密度和電離度
2.3.2 電漿溫度
2.3.3 電漿的時空特徵量
2.3.4 沙哈（SAHA）方程
2.3.5 電漿判據
2.3.6 電漿的電導率
2.4電漿的微觀描述
2.4.1 電漿的準電中性
2.4.2 電漿擴散
2.4.3 電漿振盪
2.4.4 電漿鞘層
2.4.5 電漿輻射
第3章 電漿中的波
3.1 波動的一般概念
3.1.1 相速度群速度
3.1.2 色散關係
3.1.3 介電張量
3.2 冷電漿中的電磁波
3.3 熱電漿中的波
3.4 電磁波在電漿中的傳播
3.4.1 電磁波在非磁化電漿中的傳播
3.4.2 電磁波在磁化電漿中的傳播
第4章 電漿的形成理論
4.1 氣體放電特性與原理
4.2 湯森放電
4.3 帕邢定律
4.4 羅果夫斯基理論
4.5 湯森理論的局限性
4.6 氣體放電的相似定理
第5章 直流放電電漿的生成方法
5.1 直流放電方法
5.2 電暈放電電漿技術
5.2.1 電暈放電機理分析
5.2.2 電暈放電產生的閾值判據
5.2.3 電暈放電套用
5.3 直流輝光放電
5.3.1 放電區的結構和分布
5.3.2 輝光放電的陰極區
5.3.3 輝光放電的正柱區
5.3.4 各種氣壓條件下的輝光放電
5.4 電弧放電電漿技術
……
第6章 交流放電電漿的生成方法
第7章 電漿填充高功率微波器件
第8章 電漿隱身技術
第9章 電漿對材料的表面改性
第10章 微波等離子燈
第11章 微波診斷技術
第12章 光譜診斷技術
第13章 朗繆爾探針診斷技術
參考文獻
