防護環是用於澱積機台的防護環。 基本介紹 中文名：防護環適用領域：澱積機台作用：提高薄膜澱積工藝的平坦度與良率 ：一種用於澱積機台的防護環。當晶片配置於澱積機台上，且防護環配置於晶片周圍時，防護環鄰近晶片的頂面不低於晶片頂面。此外，當晶片配置於澱積機台上，且防護環配置於晶片周圍時，防護環與晶片之間的間距小於0.7毫米。本發明的防護環可使得薄膜在晶片側壁不會形成側邊澱積的現象，因此可提高薄膜澱積工藝的平坦度與良率。
