基本介紹
- 中文名:計量光柵
- 外文名:Metrology grating
- 屬性:光學器件
- 領域:光學計量儀器
計量光柵(外文名:Metrology grating)是用於測量角度、位移等物理量的光學器件,屬於光學計量儀器領域。其核心結構由大量等寬等間距平行狹縫組成,通過在玻璃表面刻制不透光刻痕形成透射光柵,或在金屬面刻痕形成反射...
1950年,德國Heidenhain首創DIADUR複製工藝,即在玻璃基板上蒸發鍍鉻的光刻複製工藝,可製造出高精度、價格低廉的光柵刻度尺,所以光柵計量儀器才被廣大用戶所接受,並進入商品市場。1953年,英國Ferranti公司提出了一個4相信號系統,可以在一個莫爾條紋周期實現4倍頻細分,並能鑑別移動方向,這就是4倍頻鑒相技術,是光柵...
由光源、計量光柵副和光電轉換元件等組成的部件稱為光柵式長度感測器。由光柵式長度感測器和放大、整形、細分、計數和顯示等電子部分組成的系統稱為光柵測量系統(見圖), 常用具有相位依次差1/4線距的四組線條的光柵作為指示光柵。當以圓光柵副代替長光柵副時,類似的測量系統可用於測量角位移。長、圓光柵測量系統的...
標尺光柵(Scale grating)是基於光柵光學原理工作的測量反饋裝置,主要套用於數控工具機閉環伺服系統,通過檢測直線位移或角位移實現精確位置反饋,輸出數字脈衝信號,具有檢測範圍大、精度高、回響快的特點。該裝置由標尺光柵和光柵讀數頭組成,其中柔性標尺光柵採用金屬基體刻劃鍍金相位光柵,表面覆蓋環氧樹脂保護層,可成卷...
光柵式指示表檢定儀是基於光柵測長原理的計量檢測儀器,主要用於檢定指示表、槓桿表及內徑表的示值誤差,符合JJG34—2008國家計量檢定規程。其代表型號包括SJ2000、SJ3000及KT1000等,供應商涵蓋成都精測科技、東鼎久衡科技等企業。該儀器通過光柵感測器將直線位移轉化為電信號,經電子細分與微處理器處理後實現數據自動化...
圓光柵(circular grating) 載體為圓形的光柵。有徑向光柵和切向光柵兩種。徑向光柵的柵線之延長線全部通過同一圓心;切向光柵的全部刻線與一個同心小圓相切,該小圓半徑很小,只有零點幾到幾毫米。圓光柵主要用來計量轉動的角位移量,且多用透射式的。結構 刻畫在玻璃盤上的光柵稱為圓光柵,也稱為光柵盤,用來測量...
信和光柵尺是廣州信和光柵數顯有限公司(中外合資)生產的數顯工具機專用光學計數器件,通過ISO9001認證和國家計量器具生產許可。主要套用於數控加工中心、車床、銑床等工具機設備,以及三坐標測量儀器、自動化機構等精密位移監測領域。該器件由光柵本體、讀數頭和信號線組成,採用封閉式讀數頭結構,通過主副光柵相對位移產生...
光柵線位移測量是以光柵干涉原理為核心技術的精密位移檢測方法,2011年發布的行業標準JB/T 10080.2-2011對其感測器技術要求進行了全面規範。該方法通過光柵副產生的莫爾條紋信號實現位移量轉換,具有微米級解析度特性。中國計量科學研究院等機構主導制定的標準體系覆蓋光柵線位移感測器的技術要求及規範,形成完整的計量技術...
計量光柵第1部分:術語 《計量光柵第1部分:術語》是2013年12月31日發布的一項行業標準。起草單位 貴陽新天光電科技有限公司、上海理工大學等。起草人 胡清、馮瓊輝等。
在光譜儀套用中,正交光柵能在正交方向分別產生高級次與一級衍射,形成二維交叉色散光譜,波長覆蓋469.7-576.6nm時對應衍射級數變化為m=75到62。此外,正交光柵干涉儀可通過分離條紋箱實現二維分立點物體成像,其中N²個像點包含N個真實像點和N(N-1)個交叉項點。基於其計量原理的光路設計已套用於超精密工作檯...
長光柵是用於測量直線位移的光學器件,載體呈長條狀,柵線密度通常為25、50、100、250條/毫米,刻痕精度可達每厘米數千至上萬條。根據光學特性分為透射式和反射式,透射光柵在玻璃表面刻制平行刻痕,反射光柵在金屬層製作全反射/漫反射柵線。結構類型包含黑白光柵(幅值光柵)與相位光柵(閃耀光柵),安裝時需控制標尺...
測量光柵法 測量光柵法(measurement grating)是2015年公布的計量學名詞。定義 直接利用明、暗相間的條紋光柵的反射和吸收而形成光柵條紋計數測量位移,再微分或二次微分以求得速度或加速度的方法。出處 《計量學名詞》第一版。
計量光柵第2部分:數顯表(卡)《計量光柵第2部分:數顯表(卡)》是2013年12月31日發布的一項行業標準。起草單位 貴陽新天光電科技有限公司、上海理工大學等。起草人 徐元玲、馮瓊輝等。
光柵測速法 光柵測速法(method for measurement velocity with grating)是2015年公布的計量學名詞。定義 在大衝擊校準中,為解決隨機相位、衝擊安全性、降低工作頻率和提高信噪比等問題,用金屬光柵組件和散射式光路實現側向測量的方法。出處 《計量學名詞》第一版。
定義 單一頻率的雷射入射到運動的衍射光柵平面時,不同級次的衍射光產生不同的都卜勒頻移,取任意兩級衍射光作為測量光束進行干涉,其差動信號的頻率與光柵的運動速度成簡單的線性關係。依次來測量位移,並對位移再微分或二次微分以求得速度或加速度的方法。出處 《計量學名詞》第一版。
現代光學計量結合渦旋光束軌道角動量特性及弱值放大技術,提升三維運動測量靈敏度,並拓展至生物醫學成像、納米製造校準等套用。計量基準體系以黑體輻射公式和矽光電二極體自校準技術為基礎,美國NIST等機構已建立標準輻射源與探測器技術規範。自溯源光柵等新型標準物質的發展縮短了納米長度計量溯源鏈,支撐精密儀器校準與先進...
(3) 力學計量儀器: (4) 電磁學計量儀器:(5) 無線電(電子)計量儀器:(6) 時間頻率計量儀器:(7) 電離輻射計量儀器; (8) 光學計量儀器;(9) 聲學計量儀器; (10) 化學計量儀器或物質 幾何計量器具 如光波干涉儀、量塊(00、0級)、線位移動光柵尺(三次元/三坐標測量儀)、一般線紋尺(
光柵線位移測量裝置是由中國工業和信息化部批准的機械行業推薦性標準,標準號為JB/T 10030-2012。該標準最早於1999年發布(JB/T 10030-1999),後於2012年修訂並全面替代舊版,現行版本規定了測量系統的基本參數、技術要求和試驗方法,適用於解析度為0.1~10μm的工業測量場景。主要起草單位包括廣州諾信數字測控設備...
JJG989-2004光柵式測微儀 《JJG989-2004光柵式測微儀》是2014年中國計量出版社出版的圖書,作者是中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局、中國國家標準化管理委員會。本規程適用於分辨力為0.01μm~1μm,測量範圍至100mm的光柵式測微儀的首次檢定、後續檢定和使用中檢驗。
全自動光柵式指示表檢定儀 全自動光柵式指示表檢定儀是一種用於測繪科學技術領域的計量儀器,於2011年12月3日啟用。技術指標 (0~1)m <±1.0μm。主要功能 全自動光柵式指示表檢定儀、雷射干涉儀、光學儀器檢測器具。
光柵角位移測量鏈 光柵角位移測量鏈(grating angular displacement measuring chain)是2015年公布的計量學名詞,出自《計量學名詞》第一版。定義 利用光柵測量原理,由光柵角位移感測器感受角位移量,並用光柵數顯表顯示其值的角度測量單元。出處 《計量學名詞》第一版。
該書被上海圖書館、廣州圖書館、蘭州文獻中心等機構收錄,定位為光學計量領域專業參考書。技術原理 系統基於光學三角測量原理,通過DMD/LCD投影系統投射周期性光柵條紋,由高解析度相機捕獲物體表面變形條紋。核心流程包含:四步相移法相位主值計算:套用公式$ϕ(u,v)=atan2(I_3−I_1,I_0−I_2)$獲取包裹相位...
該規範英文名稱為Calibration Specification for Optical Fiber Bragg Grating Sensor Network Analyzers,適用於布拉格光纖光柵感測網路分析儀等測量儀器的校準,涵蓋21頁內容,標準分類為QT,中標分類為A60,ICS分類為17.180。規範制定依據產業發展現狀,分類制修訂計量技術規範,推動計量技術規範與先進技術研究和標準制定協同...
規程中通用技術要求部分明確了外觀標準及部件相互作用規範,計量器具控制章節包含檢定方法與流程。後續檢定調整了指針與刻度盤相對位置、測力的檢定要求,並將檢定間隔列為非必檢項目。依據該規程,檢測機構需配備符合光柵測量系統、自動讀表精度等技術參數的全自動檢定儀,檢定記錄需符合受控格式並輸出標準化證書。吉林市...
9.6.2計量光柵的組成 9.6.3計量光柵的套用 學習拓展 探索與實踐 習題雲 第10章輻射與波式感測器 10.1紅外感測器 10.1.1工作原理 10.1.2紅外感測器的套用 10.2微波感測器 10.2.1工作原理 10.2.2微波感測器的套用 10.3超音波感測器 10.3.1工作原理 10.3.2超音波感測器的套用 學習拓展...
其工作原理基於光柵副相對移動產生莫爾條紋,主光柵與指示光柵形成夾角θ時,莫爾條紋寬度W≈d/θ實現柵距放大效應。四個相位間隔W/4的觀察視窗捕獲光強信號,經光敏元件轉換為正弦波電信號,整形後輸出相位差90°的方波完成計量。按結構可分為透射式玻璃光柵與反射式鋼帶光柵,輸出信號類型包括1Vpp正弦波、TTL方波和絕對...
這就允許製造廠對構成計量總誤差的各個分量進行調整,從而獲得期望的準確度。分類 稱重感測器按轉換方法分為光電式、液壓式、電磁力式、電容式、磁極變形式、振動式、陀螺儀式、電阻應變式等8類,以電阻應變式使用最廣。光電式 包括光柵式和碼盤式兩種。光柵式感測器利用光柵形成的莫爾條紋把角位移轉換成光電信號。光...
8.6 光柵感測器 8.6.1 計量光柵的種類 8.6.2 莫爾條紋 8.6.3 光柵式感測器 8.7 光學編碼器 8.7.1 絕對編碼器 8.7.2 增量編碼器 本章小結 習題 第9章 光纖感測器 9.1 光纖感測器的基本知識 9.1.1 光纖的結構 9.1.2 光纖的傳光原理 9.1.3 光纖的種類 9.1.4 光纖感測器的基本組成 9.2...
小位移通常用應變式、電感式、差動變壓器式、渦流式、霍爾感測器來檢測,大的位移常用感應同步器、光柵、容柵、磁柵等感測技術來測量。其中光柵感測器因具有易實現數位化、精度高(目前解析度最高的可達到納米級)、抗干擾能力強、沒有人為讀數誤差、安裝方便、使用可靠等優點,在工具機加工、檢測儀表等行業中得到日益廣泛...
核心組件包括光柵、比色系統和微機處理模組,具備高波長精度、穩定性強及操作簡化的技術特點。通過分析溶液對入射光的吸收特性形成特徵光譜,可實現物質成分的鑑別與濃度測定。設備需定期校正以保證數據準確性,使用中需注意環境溫濕度控制與規範操作流程。簡介 分光光度計1就是利用分光光度法對物質進行定量定性分析的儀器...
