表面結構標準器

表面結構標準器(SurfacetextureStandards)
利用平面上的標準形狀缺陷模擬被測表面結構參數的標準器。例如：槽深度標準器，台階高度標準器，粗糙度樣板，單刻線樣板，多刻線樣板，軟量規標準器 (參考軟體數據集)等。