基本介紹
- 中文名：葉超
- 國籍：中國
- 民族：漢
- 性別：男
個人簡介,研究方向,主要項目,
個人簡介
1986年畢業於蘇州大學物理系，2006年獲得蘇州大學凝聚態物理博士學位，現為蘇州大學低溫電漿創新研究團隊核心成員，物理科學與技術學院大學物理教學部、國家物理實驗教學示範中心副主任，“基礎物理（實驗）教學團隊”國家級教學團隊核心成員。主要從事低溫電漿物理、技術和凝聚態物理的研究。主持和參加各類科研項目10多項。在Appl Phys Lett、J Electrcohem Soc、《物理》等國內外學術刊物上發表論文80多篇。主編《低氣壓低溫電漿診斷原理與技術》（科學出版社）。Diamond and related materials、Chin. Phys. Lett.、Plasma Sci. & Technol.審稿人。獲2008年江蘇省科技進步三等獎、2000年蘇州市科技進步二等獎、2009年江蘇省高等教育教學成果二等獎。
研究方向
1、低溫電漿物理、技術：電漿源物理與技術、電漿與材料相互作用、低溫電漿光譜診斷、低溫電漿化學
2、凝聚態物理：電漿誘導的軟物質性能、微納電子薄膜材料（低k材料）、薄膜材料的分形與物性
主要項目
1、納電子器件中的SiCOH超低k材料及相關複雜性研究（國家自然科學基金2006-2008）
2、多頻電漿與矽基軟物質的作用研究（國家自然科學基金2010-2012）
3、ECR電漿中多碳氟基團的研究（國家自然科學基金2001-2004）
4、低氣壓多頻電漿與材料表面相互作用（國家自然科學基金重點項目2007-2010）
5、強磁場螺旋波電漿物理及超導托卡馬克壁清洗新技術（科技部2010年ITER計畫國內研究項目2010-2013）
