自擴散

純組元的晶體中，不依賴於濃度梯度的擴散稱為自擴散。

純組元的晶體結構是均勻的，不存在濃度梯度，擴散的淨通量應為零。表面塗有放射性同位素在擴散退火實驗中顯示，放射性同位素向體內自擴散，這種不依賴於濃度梯度的擴散被稱為自擴散。

自擴散一般認為是擴散機制。晶體中的原子正是由於空位和間隙原子不斷地產生與複合，才不停地由一處向另一處作無規則的布朗運動，這就是晶體中原子的自擴散。