結晶氮化矽膜

結晶氮化矽膜c:ryslalhne silicon nitride filrt} Si3V;一種晶體結構的絕緣膜。屬六角晶系。禁頻寬度3.9一4.OeV:,密度3 . 4glrm'。介電常數9.4。折射率L.1}。電阻率lfl'n}3.m}腐蝕速率小於f].OZnm/min。採用直接氯化、濺射、低壓化學氣相沉積等方法製取。對鹼金屬原子有強的}fl擋力。用作半導體器件鈍化膜。

氮化矽薄膜，作為增透膜廣泛套用於矽基太陽能電池製造領域，一般通過PECVD等手段生長。