純氨滲氮工藝是指將氨氣連續通人500~600℃的滲氦罐中，有一部分在工件及罐壁的觸媒作用下分解，放出活性氮原子，被工件表面吸收並滲入內部，形成滲氦層。入爐前，氨氣應以矽膠、生石灰或氯化鈣進行乾燥，使w(水分) 小於0.2%。
氨分解率對工件表面吸收氮量有很大影響。氨分解率為20%~40%時，活性氮原子多，吸收量最多。氨分解率超過70%以後，介質中氛含量大為增加，阻礙工件表面對氮的吸收，使硬度下降，滲層深減小。
純氨分解介質的活性氮含量高，易於形成0.02~0.04mm的脆性層，因面適用於氮化後還要精磨的工件，如工具機主軸、發動機曲軸等。
