《矽單晶電阻率測定方法(GB/T 1551-2009)》刪除了鍺單晶測定的相關內容；用文字描述代替了原標準GB/T1551－1995和GB/T1552－1995中的若干記錄測試數據的表格；修改了直排四探針法中計算公式；補充了干擾因素。本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出。本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分技術委員會歸口。
基本介紹
- 書名：矽單晶電阻率測定方法
- 作者：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
- 出版日期：2010年1月1日
- 語種：簡體中文
- ISBN：155066139551
- 外文名：Test Method for Measuring Resistivity of Monocrystal Silicon
- 出版社：中國標準出版社
- 頁數：17頁
- 開本：16
- 品牌：北京勁松建達科技圖書有限公司
《矽單晶電阻率測定方法(GB/T 1551-2009)》由中國標準出版社出版。
