基本介紹
- 中文名：真空腔體
- 特點：靜態、動態
- 目的：減少了半導體套用中真空腔的個數
- 技術：有壓差真空凹槽的預置空氣軸承
這種真空腔體是為減少了半導體套用中真空腔的個數而研發的，而晶圓容量幾乎不變。這種結構採用了配備有壓差真空凹槽的預置空氣軸承的移動真空。產品的特點有改善的機台定位的靜態、動態回響，抽氣時間、穩定時間縮短等等。New Way Air Bearings Inc. …
這種真空腔體是為減少了半導體套用中真空腔的個數而研發的,而晶圓容量幾乎不變。這種結構採用了配備有壓差真空凹槽的預置空氣軸承的移動真空。產品的特點有改善的機...
真空卡箍和真空接頭、中心支架、真空盲板,組合使用,也可和真空閥門、真空三通、真空彎頭、真空四通、真空波紋管、真空轉接頭、真空腔體配合使用,滿足不同客戶需要,...
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上海暢橋真空系統製造有限公司 (SHCQ)主要從事生產真空腔體、真空閥門、真空管道配件、真空設備的專業性公司。...
超導散熱器的真空腔體中,充滿的是特製的速熱防凍高效傳熱超導液體,不存在氧化腐蝕的可能性,而該散熱器底部採用的是防鏽熱媒複合管制作,其壽命可以和供熱管道同期。...
超導散熱器的真空腔體中,充滿的是特製的速熱防凍高效傳熱超導液體,不存在氧化腐蝕的可能性,而該散熱器底部採用的是防鏽熱媒複合管制作,其壽命可以和供熱管道同期。...
等離子清洗機的結構主要分為三個大的部分組成,分別是控制單元、真空腔體以及真空泵。就以下三個部分做一個陳述:一、控制單元國內使用的等離子清洗機,包括國外進口的...
磁控反應濺射絕緣體看似容易,而實際操作困難。主要問題是反應不光發生在零件表面,也發生在陽極,真空腔體表面以及靶源表面,從而引起滅火,靶源和工件表面起弧等。德國...
均熱板是一個內壁具有微細結構的真空腔體,通常由銅製成。當熱由熱源傳導至蒸發區時,腔體裡的冷卻液在低真空度的環境中受熱後開始產生冷卻液的氣化現象,此時...
濺射靶起輝放電後,當電源的輸出脈衝的重複頻率足夠高時,由於真空腔體內的導電離子還沒有完全被中和完畢,第二個(以後)重複脈衝的復輝電壓與濺射靶的工作電壓接近...
5. 2008-2011國家青年自然科學基金國家青年科學基金——“真空腔體對瓦斯爆炸抑制作用研究” ,編號:50804047,參加人員。代表性論文專著...
主要分為兩種方式,即腔式與大氣壓式,此兩種等離子技術均為直接式等離子。腔式Glow等離子的特點是需要一個封閉的腔體,電極內置於真空腔體中,工作時首先用真空泵將...
高精度氣壓感測器一般是利用MEMS技術在單晶矽片上加工出真空腔體和惠斯登電橋,惠斯登電橋橋臂 各類數字氣壓感測器(5張) 兩端的輸出電壓與施加的壓力成正比,經過溫度...
SPS裝置主要包括以下幾個部分:軸向壓力裝置;水冷沖頭電極;真空腔體;氣氛控制系統(真空、氬氣);直流脈衝及冷卻水、位移測量、溫度測量、和安全等控制單元。SPS與熱壓...
最普通的乾法蝕刻為等離子蝕刻,等離子蝕刻設備由一個真空腔體和真空系統、一個氣體系統(用於提供精確的氣體種類和流量)、射頻電源及其調節匹配電路系統組成。...