熱絲法合成金剛石膜

所屬類別

科技 >> 材料 >> 無機材料

作者：熊禮威、王傳新編著

叢書名：

出版日期：2018年2月書號：978-7-122-30944-0

開本：16K　787×1092　1/16 裝幀：精版次：1版1次頁數：106頁

本書首先對CVD金剛石薄膜的性質及套用進行概述；然後對熱絲化學氣相法沉積金剛石薄膜的形核、生長過程及規律系統地進行研究分析，並對沉積過程中氣相化學進行診斷分析，討論添加輔助氣體對氣相活性基團的影響以及對沉積金剛石薄膜質量和生長速率的影響；最後介紹熱絲CVD金剛石薄膜塗層鑽頭以及微米、納米複合塗層金剛石薄膜模具。

第1章金剛石薄膜的性質1

1.1金剛石的晶體結構1

1.2金剛石的物理化學性能2

1.2.1金剛石的力學性能2

1.2.2金剛石的熱學性能3

1.2.3金剛石的光學性能3

1.2.4金剛石的電學性能3

1.2.5金剛石的聲學性能5

1.2.6金剛石的化學性能5

1.3金剛石薄膜的CVD製備方法5

1.3.1熱絲CVD法5

1.3.2微波電漿CVD法6

1.3.3直流電漿噴射CVD法6

1.3.4燃燒火焰CVD法7

1.4金剛石的套用7

1.4.1金剛石在機械領域的套用7

1.4.2金剛石在熱沉領域的套用8

1.4.3金剛石在光學領域的套用9

1.4.4金剛石在半導體領域的套用10

1.4.5金剛石在聲學領域的套用12

1.4.6金剛石在其他領域的套用13

參考文獻13

第2章金剛石薄膜的沉積原理16

2.1CVD法製備金剛石膜的原理16

2.1.1CVD金剛石膜的製備方法16

2.1.2CVD金剛石膜的生長原理17

2.1.3CVD金剛石膜生長過程中原子H的作用19

2.2熱絲CVD裝置及金剛石膜檢測方法20

2.2.1熱絲CVD裝置及其工作原理20

2.2.2金剛石膜的檢測方法21

2.3熱絲CVD法製備金剛石膜的前置條件23

2.3.1熱絲的選擇與處理23

2.3.2碳源的選擇與影響24

2.3.3基體材料的選擇25

2.4熱絲CVD法製備金剛石膜的形核26

2.4.1負偏壓增強形核26

2.4.2過渡層增強形核31

2.4.3基體表面預處理增強形核42

2.5熱絲CVD法製備金剛石膜的生長及其影響因素45

2.5.1熱絲與基體之間的間距對金剛石膜生長的影響45

2.5.2基體溫度對金剛石膜生長的影響47

2.5.3反應氣壓對金剛石膜生長的影響50

2.5.4碳源濃度對金剛石膜生長的影響51

2.5.5輔助氣體對金剛石膜生長的影響53

2.5.6生長過程中摻雜對金剛石膜生長的影響58

熱絲法合成金剛石膜

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