混合測量

混合測量（hybrid metrology）是指使用多種測量方式進行測量，測量得到的結果互相修正，使得最終得到的結果更加精確。

基本介紹

• 中文名：混合測量
• 外文名：hybrid metrology

這項測量技術包括電子顯微鏡（CD-SEM）、散射儀、原子力顯微鏡（AFM）和切片（Cross-section）分析。每一項測量技術獨立使用都有其優缺點，組合使用則可以取長補短。

每一種測量技術的工作原理實際上都是使用一個模型從原始數據中提取出晶圓上圖形的線寬或形貌（profile）：CD-SEM根據圖形的灰度（grey-scale）來確定圖形的邊界，進而計算出線寬；AFM分析其探針移動的軌跡，從而確定圖形的形貌；OCD分析光學散射譜，從而確定表面的幾何形貌。

以CD-SEM與OCD結合為例。它們的結合方式是：CD-SEM測量的結果首先被傳送到OCD中，OCD使用CD-SEM提供的數據最佳化其測量模型，得到更精確的結果。