汽車應變儀式進氣壓力感測器

這種感測器的主要元件是矽片，矽片的外圍較厚，中間最薄。矽片上下兩面各有一層二氧化矽膜。在膜層中沿矽片四邊感測器電阻。在矽片四角各有一個金屬塊，通過導線與電阻相連。矽片下部有一真空腔與進氣管相通。矽片上的四個電阻連線成橋式電路。當進氣歧管內壓力變化時，矽膜片隨之發生變化，這時感測器電阻的阻值也隨之發生相應的變化，使橋式電路輸出正比於進氣壓力的電壓信號。電控單元根據該信號即可測出進氣歧管的壓力。