水平垂直線寬差

在EUV光刻中，由於存在陰影效應等，同一線條分別水平與垂直放置時，導致晶圓上水平、垂直的線條寬度存在差別，稱為水平垂直線寬差(HVB)。

基本介紹

• 中文名：水平垂直線寬差
• 外文名：Horizontal Vertical Bias（HVB）

水平與垂直線條寬度的差別現象可以通過圖1來進行說明：入射在掩模上的極紫外(EUV)光線沿一個方向傾斜6°角，與入射光平面垂直的線條具有很強的陰影效應，如圖1(a)所示，而與入射光平面平行的線條幾乎沒有陰影效應，如圖1(b)所示，這就導致晶圓上垂直線條與水平線條線寬的差別，即水平垂直線寬差(HVB)。