楊晉玲，女，1968年11月生，博士，中國科學院半導體研究所研究員、博士生導師。1997年在中國科學院物理研究所獲博士學位。1997年-2004年，先後在日本東北大學的Venture Business Laboratory、德國弗萊堡大學的Institute for Microsystem Technology、瑞士巴塞爾大學的Institute of Physics和IBM Zurich Research Laboratory工作。
基本介紹
- 中文名：楊晉玲
- 出生日期：1968年11月生
- 學位/學歷：博士
- 職務：中國科學院半導體研究所研究員、博士生導師
人物成就,代表論著,
人物成就
1. 主要從事微納器件研製和表征（如：超小懸臂樑的製備及其在超快和超敏感的原子力顯微鏡中的套用）、MEMS薄膜的可靠性研究。取得的主要學術成就：大規模製備了具有優良機械性能的超薄單晶矽力感測器，澄清了其機械能量損失機制，使AFM的掃描速度和力解析度分別提高至少10倍和5倍。在國際上首次將吹曲測試（Bulge Test）擴展到了薄膜的斷裂性能表征，適用於任何薄膜的殘餘應力、楊氏模量和斷裂應力分析。
2. 2004年入選中國科學院"百人計畫"，加入中科院半導體研究所，獲國家863計畫、973計畫，以及中國科學院重大科研裝備計畫項目等的資助。組建了國內首台吹曲測試系統，對多種MEMS/NEMS薄膜材料的力學性能和可靠性進行了表征。組建了國內首台寬頻譜的射頻微納諧振器件的頻譜特性表征系統。成功研製了頻率達400 MHz的圓盤結構諧振子。迄今為止在國際著名刊物發表文章50餘篇，獲得PCT國際發明專利一項，EP專利3項和申請中國國家專利8項。（3）微納器件可靠性研究等等。
代表論著
1.Y. F. Liu，J. Xie，M. L. Zhang，J. L. Yang，and F. H. Yang, “An effective approach for restraining galvanic corrosion of polycrystalline silicon by hydrofluoric acid-based solutions”, IEEE J. Microelectromech. Syst. 20 (2) : 460 (2011）.
2.Y. F. Zhu, F. X. Zhang, J. L. Yang, H. Y. Zheng, F. H. Yang，“Stability of mechanical properties for submicrometer single-crystal silicon cantilever under cyclic load”, IEEE J. Microelectromech. Syst. 20 (1): 178 (2011).
3.R. R. Gruter, Z. Khan, R. Paxman, J. Ndieyira, B. Dueck, B. Bircher, J. L.Yang, U. Drechsler, M. despont, R. Mckendry, and B. W. Hoogenboom，“Distangling mechanical and mass effects on nanomechanical resonator”，Appl. Phys. Lett. 96, 023113 (2010).
4.W. Zhou, J. L. Yang, G. S. Sun, X. F. Liu, A. Ji, F. H. Yang, Y. D. Yu, and J. M. Li, “Fracture properties of silicon carbide thin films by bulge test of long rectangular membrane”, IEEE J. Microelectromech. Syst. 17 (2): 453 (2008).
5.J. L. Yang, J. Gaspar, and O. Paul, “Fracture properties of LPCVD silicon nitride and thermal oxide thin films from the load-deflection of long Si3N4 and SiO2 Membranes”, IEEE J. Microelectromech. Syst. 17, 1120 (2008).
6.J. L. Yang, M. Despont, U. Drechsler, B. W. Hoogenboom, H. J. Hug, P. Vettiger, and A. Engel, “Miniaturized single crystal silicon cantilevers for scanning force microscopy”, Appl. Phys. Lett. 86, 134101 (2005).
7.J. Xie, Y. F. Liu, H. Zhao, J. L.Yang, and F. H. Yang, “Reliable low-cost fabrication and characterization methods for micromechanical disk resonators”, Tech. Digest, Transducers’ 2011, Beijing, China, June 6 – 9, pp. 2462, 2011.
8.J. Xie, Y. F. Liu, M. L. Zhang, J. L. Yang, and F. H. Yang, “A simple method to effectively restrain electrochemical corrosion of polycrystalline silicon layers by HF-based solutions”, IEEE MEMS 2011, Mexico, Jan. 23 – 27, pp. 205, 2011.
