朱效立

個人信息

朱效立，副研究員。

所屬部門

納米加工與新器件集成技術研究室(三室)

教育背景

2008.10—2010.12清華大學材料科學與工程系，博士後

2005.09—2008.07中國科學院微電子研究所，博士研究生

2002.09—2005.07北京工業大學雷射工程研究院，碩士研究生

1995.09—1999.07蘭州大學物理系，本科生

工作簡歷

2008.07—中國科學院微電子研究所，助理研究員、副研究員

研究方向

納米加工與新器件集成技術，微納光學元件，先進光刻技術

獲獎榮譽

2010年北京市科技進步一等獎（排名第8）

代表論著

1. ZHU Xiao-Li, XIE Chang-Qing, ZHANG Man-Hong et al, “Fabrication of 11-nm-Wide Silica-Like Lines Using X-Ray Diffraction Exposure”, CHIN. PHYS. LETT

2. X. L. Zhu, S.B. Liu，B. Y. Man，C. Q. Xie，D. P. Chen，D. Q. Wang, T. C. Ye, M. Liu，“Analysis by Using X-Ray Photoelectron Spectroscopy for Polymethyl Methacrylate and Polytetrafluoroethylene etched by KrF Excimer Laser”

3. Xiaoli Zhu, Changqing Xie, Tianchun Ye et al, “Fabrication of 200 nm period x-ray transmission gratings using electron beam lithography”

4. 朱效立,馬傑,謝常青等. 3333 lp/mm X射線透射光柵的研製. 光學學報

5. 朱效立,謝常青,趙珉等.電子束光刻製備5000線/毫米光柵掩模關鍵技術研究. 微細加工技術朱效立,馬傑,曹磊峰等. 高線密度X射線透射光柵的製作工藝研究. 半導體學報

6. Min Zhao，XiaoLi Zhu，Baoqin Chen et al. Design, fabrication, and test of soft x-ray sinusoidal transmission grating. Optical Engineering

7. Changqing Xie, Xiaoli Zhu, Lina Shi, and Ming Liu, “Spiral photon sieves apodized by digital prolate spheroidal window for the generation of hard-x-ray vortex”

朱效立

基本介紹