最小曝光量，完成下述作用所必需的光學輻照(能夠產生光化學反應的電磁輻射)的總累積能量：(1)使給定厚度的膠膜恰好完全溶解複製一個正性光學掩模版；(2)使給定厚度抗蝕劑膠膜恰好不溶解複製一個負性光學掩模版。 minimum exposure energy參見：曝光量
