旁瓣(光刻中的旁瓣)

在光學光刻中，由於光學衍射產生的一種鄰近效應。

基本介紹

• 中文名：旁瓣
• 外文名：sidelobe

由於光學衍射產生鄰近效應，在主圖形外產生的非設計需要的圖形，通常發生在拐角圖形處，因衍射光的干涉效應額外出現如天線旁瓣狀圖形，當曝光能力過強，光致抗蝕劑能量閾值過低時，顯影后容易留下額外的圖形。