微系統技術簡稱MST,它的基本工藝技術是矽的腐蝕和鍵合。
基本介紹
- 中文名:微系統技術
- 外文名:MST
- 類型:電路加工派生出的批量加工技術
- 基本工藝:矽的腐蝕和鍵合
- 特點:小型化、力的作用
- 學科:電子科學與技術
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