《微感測器MEMS與智慧型器件》是2007年中國計量出版社出版的圖書，作者是（英）加德納，（美）瓦拉丹，（美）阿瓦德卡里姆。
基本介紹
內容提要,編輯推薦,目錄,作者簡介,
內容提要
微感測器和MEMS（微電子機械系統）正在使半導體工業領域發生一場新的變革。微系統也稱為”晶片系統”，將微電子電路和微感測器及微執行器組合起來。這一新興領域已經顯示出它們在套用中未來發展的廣闊前景，套用範圍從電子鼻和智慧型耳到微型鑷子及印表機噴墨頭。
內容包括：
傳統和新型製作工藝介紹．包括矽的體微機械加工、微立體光刻和聚合物加工工藝。
重點介紹IDT（叉指式換能器）微感測器在開發低能耗、無線MEMS或微機械中的套用。
本書涵蓋了智慧型器件的最新套用，包括電子鼻、舌、手指，以及智慧型感測器和智慧型結構．如智慧型皮膚。
通過感測器陣列、感測器信號的參數補償和專用積體電路技術的套用，對智慧型敏感器件的發展做了概述。
綜合附錄介紹了MEMS的材料主要特性、相關網址和本領域中重要的研究機構。
編輯推薦
本書有助於讀者增進對微系統的理解。其適宜讀者群為研究生、微電子專業的研究人員、微感測器系統工程師和開發人員。書中對材料特性的詳細介紹，對機械工程師、物理和材料專業工作者具有重要的參考和實用價值。
目錄
1引言
1.1微電子學的發展史
1.2 微感測器的進展
1.3微電子機械系統的進展
1.4 微機械的出現
參考文獻
2 電子材料與加工技術
2.1引言
2.2電子材料及其沉積
2.2.1熱氧化膜的形成
2.2.2二氧化矽和氮化矽沉積
2.2.3 多晶矽薄膜沉積
2.3圖形轉移
2.3.1光刻工藝
2.3.2 掩模形成
2.3.3光刻膠
2.3.4剝離技術
2.4電子材料的腐蝕
2.4.1濕法化學腐蝕
2.4.2 乾法腐蝕
2.5 半導體中的摻雜
2.5.1擴散
2.5.2離子注入
2.6結束語
參考文獻
3 微電子機械系統用材料及其製備
3.1概述
3.1.1原子結構與周期表
3.1.2 原子鍵合
3.1.3晶態
3.2金屬
3.2.1 物理和化學性質
3.2.2 金屬化
3.3半導體
3.3.1半導體：電學和化學性質
3.3.2 半導體：生長和沉積
3.4陶瓷、聚合物和複合材料
參考文獻
4 標準微電子工藝
4.1引言
4.2晶片製作
4.2.1晶體生長
4.2.2晶片製作
4.2.3 外延沉積
4.3單片加工
4.3.1 雙極加工工藝
4.3.2 雙極結型電晶體的性能
4.3.3 金屬氧化物半導體加工工藝
4.3.4 場效應電晶體性能
4.3.5矽一絕緣體互補金屬氧化物半導體加工工藝
4.4單片安裝
4.4.1晶片和引線焊接
4.4.2 載帶自動焊接
4.4.3 倒裝載帶自動焊接
4.4.4 倒裝焊安裝
4.5印刷電路板技術
4.5.1 硬質電路板
4.5.2 柔性電路板
4.5.3 塑膠鑄模電路板
4.6混合電路和多晶片組件技術
4.6.1厚膜
4.6.2多晶片組件
4.6.3 球柵陣列
4.7可程式器件和專用積體電路
參考文獻
5 矽微機械加工：體加工技術
6 矽微機械加工：表面加工技術
7 用於MEMS的微立體光刻技術
8 微感測器
9 聲表面波器件導論
10 固體中的聲表面波
11 叉指換能器（IDT）式微感測器參數測量
12 叉指換能器（IDT）式微感測器的製作
13 叉指換能器（IDT）式微感測器
14 微電子機械系統－叉指換能器式（MEMS-IDT）微感測器
15 智慧型感測器和微電子機械系統
附錄
索引
作者簡介
朱利安 W．加德納（Julian W．Gardner），英國考文垂市沃里克大學電子工程教授。1979年獲伯明罕大學理學學士學位。1983年獲劍橋大學物理電子學哲學博士學位。1997年獲沃里克大學電子工程理學博士學位。他在感測器工程領域具有15年以上的經歷，首先在工業界，然後在學術界專門從事微感測器的開發，並與南安普敦大學合作開發電子鼻儀表。Gardner 教授目前是英國電氣工程師學會會員和學會下屬的感測器專業網成員。他撰寫了250篇技術文章和5本書籍，編寫了教科書《微感測器：原理與套用》，1994年由 Wiley 出版社出版，獲得一定的成功，目前已第四次重印。
