半導體材料國家工程研究中心是由北京有色研究總院於1991年11月成立的工廠。
基本介紹
- 中文名：半導體材料國家工程研究中心
- 研究院：北京有色研究總院
- 時間：1957年
- 工廠：四川峨眉半導體材料廠
機構介紹,生產線,主要產品,
機構介紹
1991年11月成立了半導體材料國家工程研究中心，中心有高級研究員48名，固定資產3億元人民幣。中心在半導體材料單晶生長技術、半導體材料晶片加工技術、半導體材料缺陷的形成機理與消除措施領域開展了深入的研究。並在此基礎上取得了很多開創性的研究成果，在國內處於領先地位。
中心具有單晶生長、切片、磨片、腐蝕、拋光、清洗及檢測工藝；具有高精度的晶體生長、切、磨、拋設備和超淨環境；具有整套置於超淨環境中的測試、清洗、包裝設備；具有相應的純水、氣體和化學試劑等輔助條件和設施。
北京有色研究總院1957年開始矽材料的研究。1958年10月成立了國內第一個矽材料研究室，系統地開展了矽多晶、單晶及其性能測試的研究工作。1965年利用自己的成套技術設計建成了我國第一個矽材料廠————四川峨眉半導體材料廠。後又參與從日本引進全套矽廠的籌備工作，於1966年建立洛陽單晶矽廠。
生產線
1.超大規模積體電路用直拉單晶及拋光片的生產線；
2.功率器件用區熔矽單晶及晶片生產線；
3.光電子器件用Ⅲ-Ⅴ族化合物半導體單晶及晶片的生產線。
主要產品
1、φ3" －φ8" 直拉矽單晶及拋光片；
2、φ3"、φ4"區熔矽單晶及晶片
3、φ2"、φ3" Ⅲ-Ⅴ族化合物半導體（直拉及水平砷化鎵、磷化鎵、銻化鎵、磷化銦）單晶及晶片。
