化學對比度

光致抗蝕劑曝光區域和沒有曝光區域在顯影時溶解速率最小值和最大值差值與其兩者之和的比值。

基本介紹

• 中文名：化學對比度
• 外文名：chemical contrast

化學對比度用來表征光致抗蝕劑曝光後通過顯影形成的圖形的清晰程度。

對比度高的光致抗蝕劑所得到的曝光圖形具有陡直的側壁和較高的圖形高寬比，顯影曲線的斜率越大，光致抗蝕劑的對比度越高。對比度直接影像光致抗蝕劑的分辨能力。