光刻球差

光刻中，由於離軸距離不同的光線在透鏡表面形成的入射角不同引起的誤差，稱為光刻球差。

基本介紹

• 中文名：光刻球差
• 外文名：lithography spherical aberration

當光線由透鏡的邊緣通過時，它的焦點位置比較遠離透鏡，而由透鏡的中央透過的光線，它的焦點位置則比較靠近透鏡，如圖1所示。

圖1

數值孔徑NA越大的透鏡，球面像差越明顯，球差的存在使得成像對比度相對於最佳聚焦點（best focus，BF）是不對稱的，即大於BF或小於BF處的成像對比度不同，這就意味著，光刻機聚焦的偏差會導致晶圓上圖形線寬的變化。