二次離子質譜(sims(二次離子質譜))

二次離子質譜(二次離子質譜)

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二次離子質譜(secondary ion mass spectroscopy),是一種非常靈敏的表面成份精密分析儀器,它是通過高能量的一次離子束轟擊樣品表面,使樣品表面的分析吸收能量而從表面發生濺射產生二次粒子,通過質量分析器收集、分析這些二次離子,就可以得到關於樣品表面信息的圖譜。

基本介紹

  • 中文名:二次離子質譜
  • 外文名:secondary ion mass spectroscopy
  • 別稱:次級離子質譜、離子探針
  • 原理:用一次離子束轟擊表面
原理
用一次離子束轟擊表面,將樣品表面的原子濺射出來成為帶電的離子,然後飛行時間或者磁偏轉質譜儀分析離子的荷/質比,便可知道表面的成份;
二次離子質譜
它是一種非常靈敏的表面成份分析手段,對某些元素可達到ppm量級;但由於各種元素的二次離子差額值相差非常大,作定量分析非常困難。
二次離子質譜儀,是最前沿的表面分析技術。二次離子質譜儀揭示了真正表面和近表面原子層的化學組成,其信息量也遠遠超過了簡單的元素分析,可以用於鑑定有機成分的分子結構。二次離子質譜儀廣泛套用於微電子技術、化學技術、納米技術以及生命科學之中,它可以在數秒內對表面的局部區域進行掃描和分析,生成一個表面成分圖。

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