電子級六氟化鉬electronic gr}d} malyhdeni,rts hehaflun- ride h'I}F。白色結晶固體，吸濕性強，與水反應發出嗤聲。
介紹
在潮濕空氣中生成藍色的煙:六氟化相是一種強氧化劑，有 毒，}rL}-5r}iya}j o液體密度2543kghn' ( t 9}').沸點35}'。 熔點17.5'其製法是採用高純金屬翎粉直接氟化工藝，反 應產物經過二級回收，其中六氟化鉑粗品在一5一5℃網收，經 過真空蒸餾，可製取電子級六氟化鑰產品。六氟化鋁在微電 子工業中用作化學氣相沉積矽化鑰或鉑膜，製作低電阻、高熔 點的電路萬連線和柵極。
