電子無塵車間

電子無塵車間

所謂半導體電子潔淨車間,指的是潔淨度在10萬級標準以上的車間,主要是按照按照每一立方米空氣中含有的0.5微米塵粒數計算。根據潔淨度不同分為100級(小於3.5個),1000級(小於35個),10000級(小於350個),100000級(小於3500個)。

在絕大多數情況下,無塵車間運行中風速越低,過濾器的使用效果越好。
小粒徑粉塵的擴散作用(布朗運動)明顯,風速低了,氣流在過濾材料中滯留的時間就長一些,粉塵就有更多的機會撞擊障礙物,因此過濾效率就高。經驗表明,對於高效過濾器,風速減少一半,粉塵的透過率會降低近一個數量級(效率數值增加一個9),風速增加一倍,透過率會增加一個數量級(效率降低一個9)。
與擴散的效果類似,當過濾材料帶靜電時(駐極體材料),粉塵在濾材中滯留的時間越長,被材料吸附的可能性就越大。改變風速,帶靜電材料的過濾效率會明顯改變。如果你知道材料上有靜電,進行空調系統設計時就應該儘可能地減少通過每隻過濾器的風量。
對於以慣性機理為主的大顆粒粉塵,根據傳統理論,風速降低後,粉塵與纖維碰撞的幾率會減少,過濾效率會隨之降低。但在實踐中這種影響並不明顯,因為風速小了,纖維對粉塵的反彈力也小了,粉塵更容易被粘住。
風速高,阻力就大。如果過濾器的使用壽命以終阻力為依據,風速高,過濾器的使用壽命就短。一般用戶很難實際觀察到風速對過濾效率的影響,但觀察風速對阻力的影響要容易得多。
對於高效過濾器,氣流穿過濾材的速度一般在0.01~0.04m/s,在這個範圍內,過濾器的阻力與過濾風量呈正比關係。例如,一隻484×484×220mm的高效過濾器,在額定風量1000m3/h下的初阻力為250Pa,如果使用中的實際風量是500m3/h,它的初阻力可降為125Pa。對於空調箱中的一般通風用過濾器,氣流穿過濾材的速度在0.13~1.0m/s範圍內,阻力與風量不再是線性關係,而是一條上揚的弧線,風量增加30%,阻力可能會增加50%,若過濾器阻力對你來說是個非常重要的參數,你就要向過濾器供應商索要阻力曲線。

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