離子散射譜

離子束被固體表面散射後，散射離子的能量分布和角度分布。用於固體表面研究的離子散射譜用能量低於幾千電子伏特的惰性氣體離子射向表面，入射離子被表面原子的散射可近似用兩個質點的彈性碰撞來處理。散射離子的能量分布和角度分布與表面原子的質量有確定的關係。通過測量沿一定方向散射的離子的能量分布，可提供表面原子質量(即化學成分)和數目的信息。離子散射譜的信息只來自最表層，靈敏度極高，約108∽109原子/cm2。可以做到近於無破壞的表表面成分分析。(吳思誠)