微米位移感測器

位移是和物體的位置在運動過程中的移動有關的量，位移的測量方式所涉及的範圍是相當廣泛的。小位移通常用應變式、電感式、差動變壓器式、渦流式、霍爾感測器來檢測，大的位移常用感應同步器、光柵、容柵、磁柵等感測技術來測量。其中光柵感測器因具有易實現數位化、精度高（目前解析度最高的可達到納米級）、抗干擾能力強、沒有人為讀數誤差、安裝方便、使用可靠等優點，在工具機加工、檢測儀表等行業中得到日益廣泛的套用。

概述

微米級位移感測器又稱為線性感測器，它分為電感式位移感測器，電容式位移感測器，光電式位移感測器，位移感測器超音波式位移感測器，霍爾式位移感測器和納米位移計。

原理

電感式位移感測器KD5100和SMT9700是一種屬於金屬感應的線性器件，接通電源後，在開關的感應面將產生一個交變磁場，當金屬物體接近此感應面時，金屬中則產生渦流而吸取了振盪器的能量，使振盪器輸出幅度線性衰減，然後根據衰減量的變化來完成無接觸檢測物體的目的。

光電式位移感測器ZLDS-N-100利用雷射三角反射法進行測量，對被測物體材質沒有任何要求，主要影響為環境光強和被測面是否平整。比如公路測量用到真尚有的雷射位移感測器，就對感測器進行了特殊配置，與普通情況不一樣。

納米位移計NLS1X採用光譜共焦原理，測量光源為白光，通過判斷白光分解出來的各色波長與調節的物鏡焦距相匹配，再通過接收端的光譜分析儀分析出接收到的光的主波長，從而確定測量值。

電容式感測器ZNX實際的基本包括了一個接收器Tx與一個發射器Rx，其分別都具有在印刷電路板(PCB)層上成形的金屬走線。在接收器與發射器走線之間會形成一個電場。電容感測器卻可以探測與感測器電極特性不同的導體和盡緣體。當有物體靠近時，電極的電場就會發生改變。從而感應出物體的位移變化量。