冷陰極離子源

中文名稱 冷陰極離子源 英文名稱 cold-cathode source 定義 基於彭寧(Penning)放電現象電離試樣的離子源。 套用學科 機械工程(一級學科),分析儀器(二級學科),...

PIG離子源是在外磁場約束下產生反射放電的離子源,是弧放電離子源的改進。在弧放電離子源中,陽極另一端和陰極對稱的位置上,裝一與陰極等電位的對陰極,使陰極發射...

這時離子源結構更加簡單,稱為冷陰極離子源。對於功率較大的離子源,陰極被放電所加熱,達到電子熱發射溫度,被稱為自熱陰極離子源。為產生非氣態元素的離子,將該元素...

反應離子束刻蝕機的原理和離子束刻蝕機相似,只是為了避免反應離子的化學腐蝕作用,離子源的結構經過一定的改進或者採用冷陰極離子源,在真空系統和機器材料的選用上也...

*抗雷射薄膜的製造技術;*寬束冷陰極離子源 、脈衝真空電弧離子源系列化;*類金剛石薄膜的製造與套用技術;*超硬薄膜製造技術;*高精度薄膜厚度實時控制技術;...

雷射器中用正柱區實現粒子束反轉,粒子束裝置中冷陰極離子源,半導體工藝中電漿刻蝕,薄膜濺射沉積,電漿化學沉積等。光電流效應機理:亞穩態(壽命約10^(-4)...