光刻膠用染料

光刻膠用染料dyes for phVLaetChlT'g微電子工業光刻過程中所用的染料、通常是那些含兩個或三個雙偶氮蔡釀功能團的化合物和一些荀一3一梭酸類染料。二芳甲烷類染料和花蔥衍生物是特殊川途的(在曝光過程中存在氧化還原反應和自由基)光刻膠用染料。