二氯甲矽烷

二氯甲矽烷是一種化學物質，化學式為SiH2Cl2，相對分子量為101.007。

基本介紹

• 中文名：二氯甲矽烷
• 化學式：SiH2Cl2
• 相對分子量：101.007
• 用途：外延矽的澱積工藝

簡述

在室溫和大氣壓力下，二氯甲矽烷是無色、易燃和有毒的氣體。其沸點為8.3℃.它具有刺激性氣味。在潮濕空氣中發煙，生成氫氯酸和聚矽氧烷混合物。

化學性質

二氯甲矽烷遇水水解，生成氫氯酸和聚矽氧烷混合物。與三烷基胺反應生成固態加合特[如與三甲胺反應生成SiH2Cl2·N(CH3)3]和吡啶。用三氟化銻處理可生成二氟甲矽烷。在約1000℃溫度時，可沉積出具有優良質量的均勻的外延矽結晶層。在1100℃下，二氯甲矽烷的沉積速度比三氟氫矽高很多。