是一種有機化學藥品，無色，劇毒，腐蝕性，易燃燒的液化氣體，帶有刺激性的鹽酸味，令人窒息，化學式為SiH2Cl2。
基本介紹
- 中文名：二氯氫矽
- 又名：二氯矽烷
- 分子式：SiH2Cl2
- 分子量：101
二氯二氫矽
又名二氯矽烷，分子式SiH2Cl2,分子量101,沸點8.2℃,溶點－122.0
常溫下呈液化氣體,25℃液體密度1.25kg/L,極易水解,在空氣中冒白煙,有鹽酸氣味,水分存在下有極強的腐蝕性。
比容：0.239m3/kg（21.1ºC, 101.325kPa）
CAS Registry No.：4109-96-0
套用：半導體外延和化學氣相沉積工藝中的矽源氣體。有機矽化合物的生產。製作大規模積體電路所必需的優質矽源
在空氣中易燃，100℃以上能自燃，燃燒後生成氯化氫和氧化矽。加熱至100℃以上時會自行分解而生成鹽酸。氯氣、氫氣和不定性矽。施以強烈撞擊時也會自行分解。在濕空氣中產生腐蝕性煙霧。與鹼、乙醇、丙酮起反應。即使接觸少量鹵素或其他氧化劑也會發生激烈反應。
二氯矽烷的毒作用主要是由它在濕空氣中的水解產物氯化氫引起的。因此，人吸入後激烈刺激呼吸道，引起咳嗽、呼吸道發炎、喉痙攣和肺水腫。觸到眼睛可引起流淚並導致眼灼傷。接觸皮膚可引起化學灼傷。液態二氯矽烷也可引起冷灼傷。
