二氯矽烷在常溫常壓下為具有刺激性窒息氣味和腐蝕性的無色有毒氣體。空氣中易燃，44℃以上能自燃，燃燒氧化後生成氯化氫和氧化矽。加熱至100℃以上時會自行分解而生成氯化氫、氯、氫和不定性矽。施以強烈撞擊時也會自行分解。在濕空氣中產生腐蝕性煙霧。遇水水解生成鹽酸和聚矽氧烷(SiH2O)4。可溶於苯、醚和四氯化碳。與鹼、乙醇、丙酮起反應。即使接觸小量鹵素或其它氧化劑也會發生激烈反應。與三烷基胺、吡啶形成加成化合物。與三氟化銻反應生成氟矽烷。
基本介紹
- 中文名：二氯二氫矽
- 外文名：DichIorosilane
- 分子量：101.010
- 熔點：-122.0℃
簡介,理化性質,毒性,安全防護,
簡介
1.別名·英文名
二氯矽烷；DichIorosilane．
2.用途：
電子氣、外延、化學氣相澱積。
3.製法：
(1)矽烷或一氯矽烷在三氯化鋁存在下與氯化氫反應。
(2)在高溫下，矽與氫及氯化氫反應，再精餾提純。
理化性質
分子量： 101.010
熔點： -122.0℃
沸點(101.325kPa)： 8.2℃
液體密度(0℃，101.325kPa)：1220kg/m
氣體密度(25℃，101.325kPa)：4.168kg/m
相對密度(氣體，空氣=1，25℃，101.325kPa)：3.52
比容(21.1℃，101.325kPa)： 0.2391m3/kg
氣液容積比(15℃，100kPa) 290L/L
臨界溫度： 176.0℃
臨界壓力：4676kPa
臨界密度：463kg/m3
氣化熱(8.4℃，101.325kPa)：249.kJ/kg
比熱容(25℃，氣體)：Cp=611.27J/(kg·K)
蒸氣壓 (-20℃)：31.4kPa
(0℃)： 81.1kPa
(20℃)：167.2kPa
粘度(氣體，20℃，101.325kPa)：0.0163mPa·s
表面張力(20℃)：11.9mN/m
空氣中爆炸極限(20℃，101.325kPa)： 4.1%～98.8%(體積)
自燃點：：111°F(44℃)
毒性
有毒氣體範圍： >0.25ppm
嗅覺濃度： ～1ppm
刺激性濃度： ～10ppm
最高容許濃度： 0.5ppm(2mg/m)
二氯矽烷的毒作用主要是由它在濕空氣中的水解產物氯化氫引起的。因此，人吸入後激烈刺激呼吸道，引起嗆咳、呼吸道發炎、喉痙攣和肺水腫。觸到眼睛可引起流淚並導致眼灼傷。接觸皮膚可引起化學燒傷。液態二氯矽烷也可引起冷燒傷。
安全防護
可把二氯矽烷看作火源，禁止在任何火災危險區存放鋼瓶或敷設二氯矽烷的管道。氣體用鋼瓶貯裝，鋼瓶要存放在陰涼乾燥通風的室外或強制通風的室內，要遠離氧化劑、火源和熱源。設備管道等使用前須脫水和密封。可用氦探漏器、氨或本身的窒息性氣味來檢漏。所有設備管道要接地。設備或裝置暫時不用或延長停產時間時，應把二氯矽烷放出來，充入乾燥的惰性氣體。
有水分時二氯矽烷呈強酸性，腐蝕性極強。對無水二氯矽烷可用鐵、低合金鋼、鎳鋼、銅鎳合金、鎳、海帕倫、蒙乃爾、銀、金、鉑、鉭。不能用鋁、鋁合金、銅矽合金、黃銅等。可以用聚四氟乙烯、聚三氟氯化乙烯聚合體、天然橡膠、玻璃、瓷料、石墨等。但是在二氯矽烷可能燃燒的地方避免使用可燃性材料。
當發生火災時，首先要關閉氣瓶閥，斷絕氣源。滅火時，如果用水，則產生大量氯化氫，如果用鹼性粉末，則產生氫氣，因此這兩者都不可用。可以用二氧化碳和砂子。
廢氣可用水或苛性鉀等鹼液吸收，可以用相應的吸附劑吸附，也可以在嚴格控制下燃燒。
